真空镀膜机工作原理及结构介绍
真空镀膜机工作原理及结构介绍,真镀膜机是现在制造真空条件使用较为广泛的设备。其有关构成及各部件:机械泵、增压泵、油分散泵、冷凝泵、真空丈量系统.
真镀膜机原理
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
真空镀膜机各部分的组成
一、真空主体——真空腔
依据加工商品请求的各异,真空腔的大小也不一样,现在使用较多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔体由不锈钢资料制造,请求不生锈、坚实等,真空腔各部分有衔接阀,用来衔接各抽气泵浦。
二、辅助抽气系统
此排气系统选用“分散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”构成排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA摆布的低真空状况,为分散泵后继抽真空供给条件,以后当分散泵抽真空腔的时分,机械泵又配合油分散泵构成串联,以这么的方式完成抽气动作。
排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,首要有由机械泵、增压泵(首要介绍罗茨泵)、油分散泵三大多数构成。
机械泵:也叫前级泵,机械泵是使用较广泛的一种低真空泵,它是用油来坚持密封效果并依托机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断胀大然后取得真空。
机械泵有很多种,常用的有滑阀式(此首要使用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此现在使用较广泛,这篇文章首要介绍)四种类型。
当下各国对环保事业的日益看重,传统高消耗、重污染的电镀行业逐渐被推上风口浪尖。由于电镀行业的基础性,注定着它无法直接被取缔,所以如何对电镀技术进行升级换代,成为众多研究人员需要思考的问题。由兰州交通大学科技人员首先提出的绿色镀膜技术是表面工程领域的新技术,可以替代或者部分替代传统的化学电镀技术,能够解决可持续发展与环境污染的矛盾。
过去的镀膜多采用电镀法和化学镀法,存在着厚度难以控制、膜层均匀性差、附着力差等问题,三废污染特别严重,在人们环保意识逐步加强的今天,其发展已受到了多方面的制约。 绿色镀膜技术工艺过程简单,对环境友好,无污染,耗材少,成膜均匀致密,与基体的结合力强。与传统的电镀法相比,真空镀膜技术具有很多的优点,如装饰效果好,金属质感强,易于操作等。特别在非金属物件的应用上,有着传统电镀无法比拟的优势。
绿色镀膜概念是由兰州交通大学科技人员在国内外首先提出的表面工程领域的新技术概念,就是采用真空复合镀膜集成技术替代或者部分替代传统的电镀技术,达到降耗、减排、根除电镀三废污染、保护环境的目的,解决可持续发展与环境污染的矛盾,为建设环境友好型和资源节约型社会服务。绿色镀膜技术包括真空离子镀膜、磁控溅射镀膜、蒸发镀膜、离子注入、离子清洁等一系列单项技术及其多项复合技术的集成,涉及真空、机械、控制、光电子、材料改性、表面工程、信息等光机电控一体化多学科领域。
绿色镀膜技术是真空应用技术的一个重要分支,它已广泛地应用于光学、电子学、能源开发,理化仪器、建筑机械、包装、民用制品、表面科学以及科学研究等领域中。现在研究绿色镀膜技术的企业有很多,成越科仪就是其中的**。成越科仪认为,发展绿色真空镀膜是大势所趋,因为它具有一系列其他工艺不可取代的优点。成越科仪负责人表示,成越科仪将继续加大绿色镀膜技术的研发与运用,不断推动绿色镀膜技术的向前发展。