-
丹阳市宝来利真空机电有限公司
主营：真空镀膜机厂家,真空镀膜设备,真空镀膜机,,, - 13706108355
丹阳市宝来利真空机电有限公司
主营：真空镀膜机厂家,真空镀膜设备,真空镀膜机,,,
8
真空镀膜机的操作方法介绍
真空镀膜机首要指一类需求在较高真空度下进行的镀膜仪器，首要思路是分成蒸腾和溅射两种。真空镀膜机的应用是很复杂的，用户需求掌握必定的操作常识。下面小编就来详细介绍一下真空镀膜机的操作方法，期望能够协助到我们。
真空镀膜机电控柜操作
1. 开水泵、气源。
2. 开总电源。
3. 开保持泵、真空计电源，真空计档方位V1方位，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、发动，真空计开关换到V2方位，抽到小于2停止，约需20分钟。
5. 调查涡轮分子泵读数抵达250今后，关予抽，开前机和
高阀持续抽真空，抽真空抵达必定程度后才能开右边的高真空表头，调查真空度。真空抵达2×10-3今后才能开电子枪电源。
真空镀膜机操作
1. 总电源。
2. 一起开电子枪操控Ⅰ和电子枪操控Ⅱ电源：按电子枪操控Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及维护灯亮，三分钟后延时及维护灯灭，若后门未关好或水流继电器有毛病，维护灯会常亮。
3. 开高压，高压会到达10KV以上，调理束流可到200mA摆布，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摇摆。
真空镀膜机关机次序
1. 关高真空表头、关分子泵。
2. 待分子泵显现到50时，顺次关高阀、前级、机械泵，这时期约需40分钟。
3. 到50以下时，再关保持泵。
较直接的镀膜控制方法是石英晶体微量平衡法(QCM)，这种仪器可以直接驱动蒸发源，通过PID控制循环驱动挡板，保持蒸发速率。只要将仪器与系统控制软件相连接，它就可以控制整个的镀膜过程。但是(QCM)的精确度是有限的，部分原因是由于它监控的是被镀膜的质量而不是其光学厚度。此外虽然QCM在较低温度下非常稳定，但温度较高时，它会变得对温度非常敏感。在长时间的加热过程中，很难阻止传感器跌入这个敏感区域，从而对膜层造成重大误差。