真空镀膜机的操作方法介绍
真空镀膜机首要指一类需求在较高真空度下进行的镀膜仪器，首要思路是分成蒸腾和溅射两种。真空镀膜机的应用是很复杂的，用户需求掌握必定的操作常识。下面小编就来详细介绍一下真空镀膜机的操作方法，期望能够协助到我们。
真空镀膜机电控柜操作
1. 开水泵、气源。
2. 开总电源。
3. 开保持泵、真空计电源，真空计档方位V1方位，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、发动，真空计开关换到V2方位，抽到小于2停止，约需20分钟。
5. 调查涡轮分子泵读数抵达250今后，关予抽，开前机和
高阀持续抽真空，抽真空抵达必定程度后才能开右边的高真空表头，调查真空度。真空抵达2×10-3今后才能开电子枪电源。
真空镀膜机操作
1. 总电源。
2. 一起开电子枪操控Ⅰ和电子枪操控Ⅱ电源：按电子枪操控Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及维护灯亮，三分钟后延时及维护灯灭，若后门未关好或水流继电器有毛病，维护灯会常亮。
3. 开高压，高压会到达10KV以上，调理束流可到200mA摆布，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摇摆。
真空镀膜机关机次序
1. 关高真空表头、关分子泵。
2. 待分子泵显现到50时，顺次关高阀、前级、机械泵，这时期约需40分钟。
3. 到50以下时，再关保持泵。
确实空镀膜机呈现毛病后应首要要向使用者了解毛病的表象，然后要亲身开机调查毛病，这样才干更精确、更快、更合理的排除毛病。
首要排除毛病应先检查低真空是不是正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸腾室)，低真空正常后再开主泵，主泵作业正常后检查下室真空中是不是正常，下室真空正常再开高阀进行高真空检查检漏，直至达到作业真空，极限真空、保真空、康复真空，如极限真空和保真空正常，而康复真空和作业真空不正常则也许主泵有疑问。
以下列举常见故障及维修方法：
一、当正在镀膜时真空度突然下降
1、蒸腾源水路胶圈损环(替换胶圈)
2、坩埚被打穿(替换坩埚)
3、高压电极密封处被击穿(替换胶圈)
4、工滚动密封处胶圈损坏(替换胶圈)
5、预阀俄然封闭也许是二位五通阀损坏(替换二位五通阀)
6、高阀俄然封闭也许是二位五通阀损坏(替换二位五通阀)
7、机械泵停机也许是继电器断开(检查继电器是不是作业正常)
8、烘烤引进线电极密封处被击穿(替换胶圈)
9、挡板动密封处胶圈损坏(替换胶圈)
10、玻璃调查视镜呈现裂纹、迸裂(替换玻璃)
二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空：
1、蒸腾室有许多粉尘(应清冼)
2、分散泵好久未换油(应清冼换油)
3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油)
4、各动密封胶圈损坏(替换胶圈)
5、因为蒸腾室长时刻温度过高使其各密封胶圈老化(替换胶圈)
6、蒸腾室各引进水路密封处是不是有胶圈损坏(替换胶圈)
7、各引进座螺钉、螺母有无松动表象(从头压紧)
8、高低预阀是不是密封牢靠(注油)
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