镇江真空磁溅射镀膜设备-宝来利真空机电-丹阳真空镀膜设备

蒸发镀膜/真空镀膜 
通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。这种方法较早由M.法拉*于1857年提出，现代已成为常用镀膜技术之一。蒸发镀膜设备结构如图1。
蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源，待镀工件，如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽**真空后，加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。膜厚决定于蒸发源的蒸发速率和时间（或决定于装料量），并与源和基片的距离有关。对于大面积镀膜，常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残馀气体中的平均自由程，以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为0.1～0.2电子伏。
带钢真空镀膜生产线的技术动向
尽管钢带真空镀膜是一项**，但经过几十年的研究开发，现在已经相当成熟，具有明确的工业化应用前景。美国是较先将真空镀膜技术运用在带钢表面处理上的国家，早在20世纪60年代初就建成了四条生产线，而后日本、前苏联、德国、比利时等国家也先后建成多条生产线。目前，国际上年产量达到5千吨规模以上产量的生产线有十多条。我国也在80年代末从原东德引进了一条真空镀膜生产线。
现有带钢真空镀膜生产线有以下几种：
(1)分离型。生产线不包括钢带清洗前的处理，它将一卷经过清洗前处理的钢带，放进一个装有开卷、预热、镀膜及收卷设备的密闭真空容器中，抽到一定真空度后进行预热，然后进行镀膜操作。该设备结构简单，但生产效率较低，处理后的钢带容易受到二次污染。
(2)“空到空”全连续型。所谓“空到空”(Air-to-Air)，指的是带钢首先在大气中经过清洁处理，然后进入真空室，进行镀膜，再经增压室回到大气的连续式生产过程。该生产线包括了钢带清洁前处理和缓冷、退火后处理等机组，并有活套装置以及压差室。
设备结构和控制系统较复杂，投资较大，但生产效率高，容易达到规模产量，真正实现了从原料带卷到镀膜钢带成品带卷的真空连续生产。我国从国外引进的生产线就是属于这种类型，其电子枪功率为300kW，可加工带钢产品为带宽300mm，厚0.2～0.8mm，镀层2～8微m，带卷外径为1m，卷重1吨，镀膜材料为：铝、铜、钛、镍、锌、铬等，带钢较大行走速度每分钟120m，年产量10000吨以上。
(3)**型。这是目前比较新型的生产线。它的特点是将钢带清洁前处理，热浸镀，电子束蒸发镀三种工艺串在一起，形成完全连续式生产线，使湿法、干法两种镀膜工艺相互搭配兼容，生产经济、优质的镀膜钢带。

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